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/ Ahmed AISSAOUI|
| Titre : | Modélisation des décharges luminescentes radiofréquences | | Type de document : | texte imprimé | | Auteurs : | Ahmed AISSAOUI, Auteur | | Année de publication : | 2000 | | Importance : | 109 p. | | Langues : | Français (fre) | | Catégories : | Electrotechnique:Matériaux Isolants
| | Mots-clés : | Radiofréquences plasma décharde électrique gaz électropositif gaz électronégatif | | Résumé : | Ce travail est consacré à la modélisation des décharges luminescentes radiofréquences.
Après avoir exposé l’intérêt des plasmas froids dans l’industrie micro-électrique à travers la micro-gravure et les dépôts de couches minces, nous présentons les différentes approches utilisées dans la modélisation des décharges électriques en nous intéressant tout particulièrement aux modèles fluides.
Un modèle fluide unidimensionnel, constitué des trois premiers moments de l’équation de Boltzmann (équations de continuité, de quantité de mouvement et de l’énergie) couplés à l’équation de Poisson, est utilisé dans ce travail. Il consiste en un ensemble d’équations aux dérivées partielles qui dépendent de l’espace et du temps. Le schéma exponentiel de Sharffeter et Gummel est utilisé dans la résolution des équations du modèle.
L’application du modèle fluide de décharge radiofréquence à deux types de gaz : argon (électropositif) et SF6 (électronégatif), permet de prédire les caractéristiques et les propriétés générales des décharges radiofréquences.
Une étude paramétrique, réalisée à travers une série de décharges dans l’argon, nous a permis d’étudier les effets des paramètres fondamentaux, tels que la pression, la tension, l’espace interélectrodes et la fréquence, sur le comportement des décharges radiofréquences.
| | Directeur de thèse : | BELMADANI B. |
Modélisation des décharges luminescentes radiofréquences [texte imprimé] / Ahmed AISSAOUI, Auteur . - 2000 . - 109 p. Langues : Français ( fre) | Catégories : | Electrotechnique:Matériaux Isolants
| | Mots-clés : | Radiofréquences plasma décharde électrique gaz électropositif gaz électronégatif | | Résumé : | Ce travail est consacré à la modélisation des décharges luminescentes radiofréquences.
Après avoir exposé l’intérêt des plasmas froids dans l’industrie micro-électrique à travers la micro-gravure et les dépôts de couches minces, nous présentons les différentes approches utilisées dans la modélisation des décharges électriques en nous intéressant tout particulièrement aux modèles fluides.
Un modèle fluide unidimensionnel, constitué des trois premiers moments de l’équation de Boltzmann (équations de continuité, de quantité de mouvement et de l’énergie) couplés à l’équation de Poisson, est utilisé dans ce travail. Il consiste en un ensemble d’équations aux dérivées partielles qui dépendent de l’espace et du temps. Le schéma exponentiel de Sharffeter et Gummel est utilisé dans la résolution des équations du modèle.
L’application du modèle fluide de décharge radiofréquence à deux types de gaz : argon (électropositif) et SF6 (électronégatif), permet de prédire les caractéristiques et les propriétés générales des décharges radiofréquences.
Une étude paramétrique, réalisée à travers une série de décharges dans l’argon, nous a permis d’étudier les effets des paramètres fondamentaux, tels que la pression, la tension, l’espace interélectrodes et la fréquence, sur le comportement des décharges radiofréquences.
| | Directeur de thèse : | BELMADANI B. |
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Exemplaires
| Disponibilité |
|---|
| 3070 | 02-10-75 | version papier | Bibliothèque USTOMB | Mémoire de Magister | Exclu du prêt |
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