Titre :	Etude et élaboration des couches minces de dioxyde d'étain pour application à la détection des espéces chimiques
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	BENSAID Mohamed Ouassini, Auteur
Année de publication :	2005
Importance :	137 p.
Langues :	Français (fre)
Catégories :	Physique:Traitement des surfaces et structure des matériaux
Mots-clés :	SnO2 , pulvérisation cathodique , capteur de gaz , vapeur d’éthanol , temps de réponse , stabilité , sensibilité
Résumé :	Au cours des deux derniéres décennies , nos connaissance sur les sources de pollution de l’air extériéu ,ses effets indésirables et les méthodes requises pour améliorer la qualité de l’air se sont sensiblement développées , de recherches dans différents laboratoires du monde sont menées sur les microcateurs à oxydes métalliques , notre travail s’inscrit dans la continuité des travaux menés au laboratoire de microscopie électronique et science des matériaux sur l’étude d’un capteur de gaz à base de couche mince de dioxyde d’étain déposer par pulvérisation cathodique radiofréquence , l’objectif principal de ce travail est l’étude du comportement de dioxyde d’étain déposer à des faibles pressions d’argon , la technique de réalisation des couches minces de dioxyde d’étain polycristallines est basés sur la pulvérisation cathodique radiofréquence sous différents pressssions d’argon (entre 1m torr- 9mtorr) nous avons obtenu des couches minces de Sn O d’épaisseurs variables (1.3 um jusqu ‘à2 um) dont les propriéts physique de surface ont été étudiées par de nombreuses techniques de caractérisation , pour bien suivre l’évolution de la conducticité électrique nous avons déposr une couche élaborés sous des pressions d’argon de 5 mtorr et 9 mTorr sur deux électrodes en platinepalladium d’épaisseur (200A) déposer par pulvérisation ionique , cette étude a permis de réaliser une premiére approche du comportement du dioxyde d’étain dans des très faibles pressions d’argon , elle a aussi montré que les couche obtenus sont très sensibles à la vapeur d’éthanol , enfin les différents résultats obtenus mettent bien en évidence les bonnes performances des échantillons capteurs
Directeur de thèse :	HAMZAOUI Saad

Etude et élaboration des couches minces de dioxyde d'étain pour application à la détection des espéces chimiques [texte imprimé] / BENSAID Mohamed Ouassini, Auteur . - 2005 . - 137 p.
Langues : Français (fre)

Catégories :	Physique:Traitement des surfaces et structure des matériaux
Mots-clés :	SnO2 , pulvérisation cathodique , capteur de gaz , vapeur d’éthanol , temps de réponse , stabilité , sensibilité
Résumé :	Au cours des deux derniéres décennies , nos connaissance sur les sources de pollution de l’air extériéu ,ses effets indésirables et les méthodes requises pour améliorer la qualité de l’air se sont sensiblement développées , de recherches dans différents laboratoires du monde sont menées sur les microcateurs à oxydes métalliques , notre travail s’inscrit dans la continuité des travaux menés au laboratoire de microscopie électronique et science des matériaux sur l’étude d’un capteur de gaz à base de couche mince de dioxyde d’étain déposer par pulvérisation cathodique radiofréquence , l’objectif principal de ce travail est l’étude du comportement de dioxyde d’étain déposer à des faibles pressions d’argon , la technique de réalisation des couches minces de dioxyde d’étain polycristallines est basés sur la pulvérisation cathodique radiofréquence sous différents pressssions d’argon (entre 1m torr- 9mtorr) nous avons obtenu des couches minces de Sn O d’épaisseurs variables (1.3 um jusqu ‘à2 um) dont les propriéts physique de surface ont été étudiées par de nombreuses techniques de caractérisation , pour bien suivre l’évolution de la conducticité électrique nous avons déposr une couche élaborés sous des pressions d’argon de 5 mtorr et 9 mTorr sur deux électrodes en platinepalladium d’épaisseur (200A) déposer par pulvérisation ionique , cette étude a permis de réaliser une premiére approche du comportement du dioxyde d’étain dans des très faibles pressions d’argon , elle a aussi montré que les couche obtenus sont très sensibles à la vapeur d’éthanol , enfin les différents résultats obtenus mettent bien en évidence les bonnes performances des échantillons capteurs
Directeur de thèse :	HAMZAOUI Saad