Titre :	Etude physique des couches minces du ZnO déposé par voie chimique pour des applications à la détection.
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	BENSASSI Kadda Benmokhtar, Auteur
Année de publication :	2022-2023
Accompagnement :	CD
Langues :	Français (fre)
Catégories :	Physique:Option Technologie des Matériaux et physique des dispositifs
Mots-clés :	ZnO, Couches Minces, Caractérisation Spectroscopies (XPS, AES, EELS, UPS, PL), Détection du Gaz
Résumé :	L'oxyde de zinc est un conducteur transparent TCO (Transparent Conductive Oxide). Il correspond à un semi-conducteur à bande interdite directe et large. Il est intéressant en raison de ses propriétés électriques et optiques bien appropriées aux applications technologiques liées aux optoélectroniques et son usage comme capteur de gaz. Les échantillons se présentent comme ZnO pur (UZO), l'oxyde de zinc dopé en indium (IZO), en cuivre (CZO) et en cobalt (CoZO), obtenus dans les mêmes conditions de dépôt par la technique de pyrolyse par pulvérisation ultrasonique sur des substrats de silicium (Si). La caractérisation des surfaces des matériaux est faite par des techniques d’analyse expérimentales par spectroscopies électronique et photonique très sensibles pour déterminer la composition chimique et la distribution électronique des matériaux soumis à un traitement physique sous ultravide UHV par bombardement ionique à l'argon, suivi d'un recuit thermique à haute température (650°C). Les surfaces des matériaux sont caractérisées par les spectroscopies complémentaires: AES (Spectroscopie Electronique Auger), XPS (spectroscopie photonique rayons X), EELS (spectroscopie de perte d'énergie de réflexion) et PL (Photoluminescence). Nous utilisons le (Microscope à Force Atomique) AFM et le (microscope électronique à balayage) MEB pour étudier la morphologie des surfaces des matériaux. Nous appliquons un modèle expérimental pour les deux échantillons ZnO pur (UZO) et dopé (CZO) en tant que capteur de gaz d’éthanol. Le traitement UHV est efficace et prometteur pour améliorer les propriétés chimiques, morphologiques et optiques des échantillons en relation avec la détection du gaz d’éthanol. Zinc oxide is a transparent conductor TCO (Transparent Conductive Oxide). It corresponds to a direct and wide bandgap semiconductor. It is interesting because of its electrical and optical properties well suited to technological applications related to optoelectronics and its use as a gas sensor. The samples are presented as pure ZnO (UZO), zinc oxide doped with indium (IZO), copper (CZO) and cobalt (CoZO), obtained under the same deposition conditions by the ultrasonic spray pyrolysis technique on silicon (Si) substrates. The characterization of the surfaces of the materials is made by experimental analysis techniques by very sensitive electronic and photonic spectroscopy to determine the chemical composition and the electronic distribution of the materials subjected to a physical treatment under ultra high vacuum UHV by ion bombardment with argon, followed by thermal annealing at high temperature (650°C). Material surfaces are characterized by complementary spectroscopy: AES (Auger Electron Spectroscopy), XPS (X-ray Photon Spectroscopy), EELS (Reflection Energy Loss Spectroscopy) and PL (Photoluminescence). We use the AFM (Atomic Force Microscope) and the SEM (Scanning Electron Microscope) to study the morphology of material surfaces. We apply an experimental model for both pure (UZO) and spiked (CZO) ZnO samples as an ethanol gas sensor. UHV treatment is effective and promising to improve the chemical, morphological and optical properties of samples in relation to the detection of ethanol gas.
Directeur de thèse :	HAMZAOUI Saad

Etude physique des couches minces du ZnO déposé par voie chimique pour des applications à la détection. [texte imprimé] / BENSASSI Kadda Benmokhtar, Auteur . - 2022-2023 . -  + CD.
Langues : Français (fre)

Catégories :	Physique:Option Technologie des Matériaux et physique des dispositifs
Mots-clés :	ZnO, Couches Minces, Caractérisation Spectroscopies (XPS, AES, EELS, UPS, PL), Détection du Gaz
Résumé :	L'oxyde de zinc est un conducteur transparent TCO (Transparent Conductive Oxide). Il correspond à un semi-conducteur à bande interdite directe et large. Il est intéressant en raison de ses propriétés électriques et optiques bien appropriées aux applications technologiques liées aux optoélectroniques et son usage comme capteur de gaz. Les échantillons se présentent comme ZnO pur (UZO), l'oxyde de zinc dopé en indium (IZO), en cuivre (CZO) et en cobalt (CoZO), obtenus dans les mêmes conditions de dépôt par la technique de pyrolyse par pulvérisation ultrasonique sur des substrats de silicium (Si). La caractérisation des surfaces des matériaux est faite par des techniques d’analyse expérimentales par spectroscopies électronique et photonique très sensibles pour déterminer la composition chimique et la distribution électronique des matériaux soumis à un traitement physique sous ultravide UHV par bombardement ionique à l'argon, suivi d'un recuit thermique à haute température (650°C). Les surfaces des matériaux sont caractérisées par les spectroscopies complémentaires: AES (Spectroscopie Electronique Auger), XPS (spectroscopie photonique rayons X), EELS (spectroscopie de perte d'énergie de réflexion) et PL (Photoluminescence). Nous utilisons le (Microscope à Force Atomique) AFM et le (microscope électronique à balayage) MEB pour étudier la morphologie des surfaces des matériaux. Nous appliquons un modèle expérimental pour les deux échantillons ZnO pur (UZO) et dopé (CZO) en tant que capteur de gaz d’éthanol. Le traitement UHV est efficace et prometteur pour améliorer les propriétés chimiques, morphologiques et optiques des échantillons en relation avec la détection du gaz d’éthanol. Zinc oxide is a transparent conductor TCO (Transparent Conductive Oxide). It corresponds to a direct and wide bandgap semiconductor. It is interesting because of its electrical and optical properties well suited to technological applications related to optoelectronics and its use as a gas sensor. The samples are presented as pure ZnO (UZO), zinc oxide doped with indium (IZO), copper (CZO) and cobalt (CoZO), obtained under the same deposition conditions by the ultrasonic spray pyrolysis technique on silicon (Si) substrates. The characterization of the surfaces of the materials is made by experimental analysis techniques by very sensitive electronic and photonic spectroscopy to determine the chemical composition and the electronic distribution of the materials subjected to a physical treatment under ultra high vacuum UHV by ion bombardment with argon, followed by thermal annealing at high temperature (650°C). Material surfaces are characterized by complementary spectroscopy: AES (Auger Electron Spectroscopy), XPS (X-ray Photon Spectroscopy), EELS (Reflection Energy Loss Spectroscopy) and PL (Photoluminescence). We use the AFM (Atomic Force Microscope) and the SEM (Scanning Electron Microscope) to study the morphology of material surfaces. We apply an experimental model for both pure (UZO) and spiked (CZO) ZnO samples as an ethanol gas sensor. UHV treatment is effective and promising to improve the chemical, morphological and optical properties of samples in relation to the detection of ethanol gas.
Directeur de thèse :	HAMZAOUI Saad