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Fabrication et caractérisation des films minces des céramiques Ferroélectriques en vu de leurs applications en microélectronique / MAHDI Mohammed 

Public ISBD Titre : Fabrication et caractérisation des films minces des céramiques Ferroélectriques en vu de leurs applications en microélectronique Type de document : texte imprimé Auteurs : MAHDI Mohammed, Auteur Année de publication : 2022-2023 Accompagnement : CD Langues : Français (fre) Catégories : Physique:Technologie de Matériaux et Physique des Dispositifs. Mots-clés : L’oxyde de plomb -matériau ferroélectrique-recuit laser de type KrF Résumé : Dans ce travail, nous avons procédé à l’élaboration d’un matériau ferroélectrique à l’état massif et couches mince dans l’objectif qu’il soit intégré en microélectronique. L’oxyde de plomb de titanate de zirconium (PZT) est élaboré sous forme massive par voie chimique en solution-solide. Des calcinations successives et séparées à 600, 700 et 800 °C ont donné des résultats intéressants. Nous avons constaté que les traitements successifs avec rupture de paliers (c’est-à-dire de 20 °C à 600 °C on maintien ensuite la température pendant un moment et on arrête le traitement, on entame après le traitement pour le deuxième palier de 700 °C, ainsi de suite pour le même échantillon). Conduit à un autre phénomène autre que la diffusion solide-solide durant le second et le troisième palier de traitement qui est la nucléation au tour de la phase forme pendant le premier palier. L’élaboration de couches minces en PZT est obtenue par pulvérisation cathodique de la cible du matériau (PZT) déjà élaboré sous sa forme massive. Ces couches minces ont été fabriquées à température ambiante donnant naissance à des films amorphes. Dans cette partie les paramètres de dépôt sont optimisés pour avoir une morphologie et un état de surfaces adéquates avec les conditions requises pour des applications en microélectronique. Finalement le caractère ferroélectrique des couches mince est testé. Notre principale valeur ajoutée dans cette thèse est de pouvoir intégrer ces céramiques dans un circuit intégré qui ne supporte pas des températures supérieures à 400 °C. Nous avons alors procédé à un recuit laser de type KrF de longueur d’onde de 248 nm. Cette solution nous a permis d’élaborer des couches en PZT bien structurés sans chauffage et sur une surface bien déterminée sans affecter les régions aux alentours, ce qui permet une intégration sur un circuit intégré sans risque de l’endommager. Directeur de thèse : ZERDALI Mokhtar Fabrication et caractérisation des films minces des céramiques Ferroélectriques en vu de leurs applications en microélectronique [texte imprimé] / MAHDI Mohammed, Auteur . - 2022-2023 . -  + CD. Langues : Français (fre) Catégories : Physique:Technologie de Matériaux et Physique des Dispositifs. Mots-clés : L’oxyde de plomb -matériau ferroélectrique-recuit laser de type KrF Résumé : Dans ce travail, nous avons procédé à l’élaboration d’un matériau ferroélectrique à l’état massif et couches mince dans l’objectif qu’il soit intégré en microélectronique. L’oxyde de plomb de titanate de zirconium (PZT) est élaboré sous forme massive par voie chimique en solution-solide. Des calcinations successives et séparées à 600, 700 et 800 °C ont donné des résultats intéressants. Nous avons constaté que les traitements successifs avec rupture de paliers (c’est-à-dire de 20 °C à 600 °C on maintien ensuite la température pendant un moment et on arrête le traitement, on entame après le traitement pour le deuxième palier de 700 °C, ainsi de suite pour le même échantillon). Conduit à un autre phénomène autre que la diffusion solide-solide durant le second et le troisième palier de traitement qui est la nucléation au tour de la phase forme pendant le premier palier. L’élaboration de couches minces en PZT est obtenue par pulvérisation cathodique de la cible du matériau (PZT) déjà élaboré sous sa forme massive. Ces couches minces ont été fabriquées à température ambiante donnant naissance à des films amorphes. Dans cette partie les paramètres de dépôt sont optimisés pour avoir une morphologie et un état de surfaces adéquates avec les conditions requises pour des applications en microélectronique. Finalement le caractère ferroélectrique des couches mince est testé. Notre principale valeur ajoutée dans cette thèse est de pouvoir intégrer ces céramiques dans un circuit intégré qui ne supporte pas des températures supérieures à 400 °C. Nous avons alors procédé à un recuit laser de type KrF de longueur d’onde de 248 nm. Cette solution nous a permis d’élaborer des couches en PZT bien structurés sans chauffage et sur une surface bien déterminée sans affecter les régions aux alentours, ce qui permet une intégration sur un circuit intégré sans risque de l’endommager. Directeur de thèse : ZERDALI Mokhtar

Exemplaires

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité
9033	02-05-969	Version numérique et papier	Bibliothèque USTOMB	Thèse de Doctorat	Exclu du prêt

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