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Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique / Mouis Mireille

Public ISBD Titre : Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique Type de document : texte imprimé Auteurs : Mouis Mireille, Auteur Editeur : Paris : Hermes science/Lavoisier Année de publication : 2006 Collection : Traité EGEM Electronique-Génie Electrique-Microsystèmes Importance : 448 p. Présentation : couv. ill. Format : 24,1 cm. ISBN/ISSN/EAN : 978-2-7462-1308-1 Langues : Français (fre) Index. décimale : 28-06 Hyperfréquences-ondes et composants Résumé : La maîtrise des contraintes mécaniques internes constitue un enjeu majeur de la micro-nano-électronique et de l'optoélectronique, tant au niveau des composants actifs (transistors ou lasers par exemple) que des interconnexions. Les procédés de réalisation des composants et des circuits intégrés font appel à des matériaux de plus en plus variés qui génèrent localement des contraintes indésirables, voire destructives. Inversement, on peut développer une véritable ingénierie des contraintes pour améliorer les performances ou générer de nouvelles propriétés physiques. Cet ouvrage, qui s'adresse aussi bien à des étudiants de 3e cycle universitaire qu'à des ingénieurs et des chercheurs, fournit les bases permettant d'appréhender ce problème complexe. Après avoir présenté les outils théoriques qui sont utilisés pour décrire la génération et la relaxation des contraintes, il aborde successivement les aspects technologiques, quelques techniques de caractérisation, les principales méthodes de simulation et l'impact des contraintes sur les propriétés électriques et optiques des composants Note de contenu : Table des matières Chapitre 1. L'importance des contraintes en microélectronique. Chapitre 2. Théorie de l'élasticité des cristaux. Chapitre 3. Introduction à la thermodynamique des systèmes contraints Chapitre 4. Description élastique d'une surface et de ses défauts Chapitre 5. Rôle des contraintes mécaniques dans les technologies silicium Chapitre 6. Croissance cristalline et génération de contraintes Chapitre 7. Relaxation élastique des contraintes Chapitre 8. Relaxation plastique des couches métalliques par dislocations et diffusion de matière Chapitre 9. Phénomènes d'endommagement des films minces : des structures de cloquage aux propriétés mécaniques locales Chapitre 10. Exploitation des contraintes dans les structures à base de semi-conducteurs Chapitre 11. Apports et limites d'une approche atomistique de la croissance hétéro-épitaxique Chapitre 12. Utilisation des éléments finis pour l'analyse des contraintes Chapitre 13. Analyse des contraintes et déformations de films minces par diffraction des rayons X et mesure de courbure Chapitre 14. Influence des contraintes sur les propriétés électroniques et optiques des semi-conducteurs Index Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique [texte imprimé] / Mouis Mireille, Auteur . - Paris : Hermes science/Lavoisier, 2006 . - 448 p. : couv. ill. ; 24,1 cm.. - (Traité EGEM Electronique-Génie Electrique-Microsystèmes) . ISBN : 978-2-7462-1308-1 Langues : Français (fre) Index. décimale : 28-06 Hyperfréquences-ondes et composants Résumé : La maîtrise des contraintes mécaniques internes constitue un enjeu majeur de la micro-nano-électronique et de l'optoélectronique, tant au niveau des composants actifs (transistors ou lasers par exemple) que des interconnexions. Les procédés de réalisation des composants et des circuits intégrés font appel à des matériaux de plus en plus variés qui génèrent localement des contraintes indésirables, voire destructives. Inversement, on peut développer une véritable ingénierie des contraintes pour améliorer les performances ou générer de nouvelles propriétés physiques. Cet ouvrage, qui s'adresse aussi bien à des étudiants de 3e cycle universitaire qu'à des ingénieurs et des chercheurs, fournit les bases permettant d'appréhender ce problème complexe. Après avoir présenté les outils théoriques qui sont utilisés pour décrire la génération et la relaxation des contraintes, il aborde successivement les aspects technologiques, quelques techniques de caractérisation, les principales méthodes de simulation et l'impact des contraintes sur les propriétés électriques et optiques des composants Note de contenu : Table des matières Chapitre 1. L'importance des contraintes en microélectronique. Chapitre 2. Théorie de l'élasticité des cristaux. Chapitre 3. Introduction à la thermodynamique des systèmes contraints Chapitre 4. Description élastique d'une surface et de ses défauts Chapitre 5. Rôle des contraintes mécaniques dans les technologies silicium Chapitre 6. Croissance cristalline et génération de contraintes Chapitre 7. Relaxation élastique des contraintes Chapitre 8. Relaxation plastique des couches métalliques par dislocations et diffusion de matière Chapitre 9. Phénomènes d'endommagement des films minces : des structures de cloquage aux propriétés mécaniques locales Chapitre 10. Exploitation des contraintes dans les structures à base de semi-conducteurs Chapitre 11. Apports et limites d'une approche atomistique de la croissance hétéro-épitaxique Chapitre 12. Utilisation des éléments finis pour l'analyse des contraintes Chapitre 13. Analyse des contraintes et déformations de films minces par diffraction des rayons X et mesure de courbure Chapitre 14. Influence des contraintes sur les propriétés électroniques et optiques des semi-conducteurs Index

Exemplaires

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité	N.Inventaire
3658	28-06-21	Livre	Bibliothèque de Génie Electrique- USTO	Documentaires	Exclu du prêt	3658
3659	28-06-21	Livre	Bibliothèque de Génie Electrique- USTO	Documentaires	Exclu du prêt	3659
3660	28-06-21	Livre	Bibliothèque de Génie Electrique- USTO	Documentaires	Exclu du prêt	3660