Microsystèmes et Systèmes Embarqués (MEMS & Micro fluidique)

Description scientifique du programme de recherche de l’équipe

Les objectifs généraux de l’équipe MEMS et Micro fluidiques sont d’intégrer, de caractériser et de modéliser de nouvelles fonctions électromécaniques, magnétiques, thermiques et bioniques dans des dispositifs innovants micro usinés sur Silicium. Les composants MEMS et micro fluidiques sont intégrés dans un système embarqué dédié à des applications spécifiques dans l’automobile, l’aérospatiale, le biomédical, les télécommunications, la communication sans fil, l’environnement, l’énergie, la sécurité, l’électronique grand publique…etc.

Dans un premier temps l’équipe s’est focalisé sur la conception et la modélisation des composants MEMS et Micro fluidiques sur Silicium en utilisant les différents simulateurs comme le MEMSCAP, CADENCE, VHDL-AMS, PSPICE..Etc.

Dans un deuxième temps l’équipe s’orientera vers la fabrication, la caractérisation des capteurs de base et le test de l’ensemble du microsystème embarqué en collaboration avec d’autre centre de recherche nationaux et internationaux comme le centre de recherche national le CDTA et le centre de recherche international l’IMEC.

Les grands thèmes de travail que l’équipe propose :

• Modélisation et réalisation des composants MEMS et micro fluidiques en technologie CMOS 1µm en collaboration avec le CDTA.
• Caractérisation comportemental des MEMS et micro fluidiques
• Réalisation des structures mécaniques de la partie transducteur du capteur
• Gravure profonde cryogénique pour des applications MEMS et Micro fluidiques
• Conception et simulation de la partie conditionnement électronique du capteur MEMS en utilisant les différents simulateurs et logiciel tels que le Pspice, VHDL-AMS et Cadence,.

 Chef d’équipe : MEKKAKIA-MAAZA Nasreddine                  

Membres de l’équipe :

 ABDELADIM Mustapha               

GUERANDI Lahouari                     

DEKMOUS Meriem             

AZOUZA Maamar               

MANSOUR Mokhtar                       

ABI AYAD Abderrahmene Yacine            

CHETTOUH Djamel Eddine                       

HASSAB El Mahdi              

BENMESSAOUD Mourad             

LAKHDARI Abdelghani                

GUERANDI HOUARI                   

DEKMOUS Meriem             

AZOUZA Maamar