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Contribution a l'observation de surfaces en microscopie electronique sous incidence rasante / CLAVERIE Alain

Public ISBD Titre : Contribution a l'observation de surfaces en microscopie electronique sous incidence rasante Type de document : texte imprimé Auteurs : CLAVERIE Alain, Auteur Année de publication : 1984 Importance : 106 p. Langues : Français (fre) Catégories : Physique:Phusique du solide Mots-clés : Microscopie électronique par réflexion, diffraction électronique par réflexion , surface , silicium monocristallin , implantation ionique Résumé : Nous avons montré qu’il était possible d’obtenir des images et des diagrammes de diffraction de surfaces de matériaux massifs en utillisant un microscope commercial conventionnel fonctionnant sous un vide relativement modeste , nous nous somme attachés à décrire les caractéristique de ces images et diagrammes obtenus en utilisant des électrons de haute énergie sous incidence racante , nous intéressant au probléme du nettoyage in situ de surfaces de si (111) nous a vons identifité différents oxydes et carabures formés en cours de chauffe , après avoir mis au point un processus thermique de préparation de surfaces planes de silicium , nous avons obtenu des images de marches atomiques et de dislocations vis émergeant en surface , l’obtention de ces images nous a conduit à proposer une interprétation des contrastes observés qui se démarquent sensiblement de celles proposées par d’auteurs auteurs , nos premiers résultats concernant l’étude en diffraction et un image de telles surfaces en cours d’implantation ionique ont été présentés et montrent et montrent que cette étude , originale , nous est expérimentalement accessible Directeur de thèse : J.BEAUVILLAIN Contribution a l'observation de surfaces en microscopie electronique sous incidence rasante [texte imprimé] / CLAVERIE Alain, Auteur . - 1984 . - 106 p. Langues : Français (fre) Catégories : Physique:Phusique du solide Mots-clés : Microscopie électronique par réflexion, diffraction électronique par réflexion , surface , silicium monocristallin , implantation ionique Résumé : Nous avons montré qu’il était possible d’obtenir des images et des diagrammes de diffraction de surfaces de matériaux massifs en utillisant un microscope commercial conventionnel fonctionnant sous un vide relativement modeste , nous nous somme attachés à décrire les caractéristique de ces images et diagrammes obtenus en utilisant des électrons de haute énergie sous incidence racante , nous intéressant au probléme du nettoyage in situ de surfaces de si (111) nous a vons identifité différents oxydes et carabures formés en cours de chauffe , après avoir mis au point un processus thermique de préparation de surfaces planes de silicium , nous avons obtenu des images de marches atomiques et de dislocations vis émergeant en surface , l’obtention de ces images nous a conduit à proposer une interprétation des contrastes observés qui se démarquent sensiblement de celles proposées par d’auteurs auteurs , nos premiers résultats concernant l’étude en diffraction et un image de telles surfaces en cours d’implantation ionique ont été présentés et montrent et montrent que cette étude , originale , nous est expérimentalement accessible Directeur de thèse : J.BEAUVILLAIN

Exemplaires

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité
8143	02-05-221	version papier	Bibliothèque USTOMB	Thèse de Doctorat	Exclu du prêt