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Contribution à l'Etude d'un Procèdè de Gravure du BPSG pour les Dispositifs Microèlectroniques / Mekkakia MAAZA Nasreddine

Public ISBD Titre : Contribution à l'Etude d'un Procèdè de Gravure du BPSG pour les Dispositifs Microèlectroniques Type de document : texte imprimé Auteurs : Mekkakia MAAZA Nasreddine, Auteur Année de publication : 2004 Importance : 119 p. Langues : Français (fre) Catégories : Electronique:Microélectrinique Mots-clés : gravure par plasma  contacts  oxyde de silicium  actinomètrie  spectromètrie  de masse. Résumé : l'un des problème majeurs rencontrè dans la fabrication des dispositifs microèlectroniques VL,SI,est la rèalisation des fenèlres de contacts à travers une couche dièlectrique de l'oxyde de silicium dopè BPSG ( boro phosphoro silicate glass). en effet les techniques de gravure par plasma employèes donnent un profil anisotrope dans l'oxyde de silicium ceci entraine un dèfaut d'uniformitè pour la couche de mètal dèposèe par-dessus l'oxyde et un dèfaut de rupture de contact ces dèfauts ces dèfauts nuisent nuisent naturellement aux qualitès èlectriques du dispositif. Directeur de thèse : A boudghene Stambouli Contribution à l'Etude d'un Procèdè de Gravure du BPSG pour les Dispositifs Microèlectroniques [texte imprimé] / Mekkakia MAAZA Nasreddine, Auteur . - 2004 . - 119 p. Langues : Français (fre) Catégories : Electronique:Microélectrinique Mots-clés : gravure par plasma  contacts  oxyde de silicium  actinomètrie  spectromètrie  de masse. Résumé : l'un des problème majeurs rencontrè dans la fabrication des dispositifs microèlectroniques VL,SI,est la rèalisation des fenèlres de contacts à travers une couche dièlectrique de l'oxyde de silicium dopè BPSG ( boro phosphoro silicate glass). en effet les techniques de gravure par plasma employèes donnent un profil anisotrope dans l'oxyde de silicium ceci entraine un dèfaut d'uniformitè pour la couche de mètal dèposèe par-dessus l'oxyde et un dèfaut de rupture de contact ces dèfauts ces dèfauts nuisent nuisent naturellement aux qualitès èlectriques du dispositif. Directeur de thèse : A boudghene Stambouli

Exemplaires

Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Disponibilité
2286	02-09-265	version papier	Bibliothèque USTOMB	Thèse de Doctorat	Exclu du prêt