Titre : | Conception et Modélisation des MEMS : Application aux Accéléromètres | Type de document : | document électronique | Auteurs : | BENMESSAOUD Mourad, Auteur | Année de publication : | 08-12-2014 | Importance : | 94 p. | Accompagnement : | CD | Langues : | Français (fre) | Catégories : | Electronique
| Mots-clés : | Capteurs Accéléromètres MEMS :(Micro-Electro-Mécanique-Système) CMOS: (Complémentaire Métal Oxyde Semi-conducteur | Résumé : | Depuis des dizaines d’années, le domaine des capteurs était en pleine évolution suivant la progression fulgurante des technologies de fabrication des composants électroniques et plus particulièrement l’arrivée sur le marché industriel des microsystèmes à signaux mixtes analogiques – numériques, ainsi que l’émergence des technologies MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems), il s’agit alors de capteurs intégrés.
Parmi les premiers microsystèmes développés et industrialisés est le micro-accéléromètre, ses domaines d’utilisation sont variés (airbags des véhicules, les systèmes de navigation, les appareils médicales, sismométrie, surveillance de machines, etc.).
Notre travail alors consiste à étudier et améliorer de différents types d’accéléromètres à base de MEMS par l’optimisation et la modélisation des paramètres qui s’intègrent dans leur conception on essayant d’améliorer un model de précision et de qualité.
Le premier chapitre recouvre les différents types de détection qui entre dans la fabrication des accéléromètres à base des MEMS tel que la détection piézoélectrique, à structure résonante, piezorésistive, thermique et optique.
Notre intérêt durant le second chapitre, est de définir les technologies et les méthodes de fabrication des microsystèmes (MEMS) dédiés à la fabrication des micro-accéléromètres.
Le troisième chapitre a été consacré pour une étude mathématique et physique d’un model d’accéléromètre capacitif en technologie MEMS par une modélisation des paramètres on utilisant de différentes approches pour améliorer le rendement du modèle.
Dans le dernier chapitre, une simulation du model est réalisée par un logiciel de MATLAB, des paramètres initial sont proposés pour bute d’avoir une amélioration de justesse afin d’obtenir un model parfait et prêt pour la mise en fabrication.
| Directeur de thèse : | MEKKAKIA MAAZA Nasr-Eddine |
Conception et Modélisation des MEMS : Application aux Accéléromètres [document électronique] / BENMESSAOUD Mourad, Auteur . - 08-12-2014 . - 94 p. + CD. Langues : Français ( fre) Catégories : | Electronique
| Mots-clés : | Capteurs Accéléromètres MEMS :(Micro-Electro-Mécanique-Système) CMOS: (Complémentaire Métal Oxyde Semi-conducteur | Résumé : | Depuis des dizaines d’années, le domaine des capteurs était en pleine évolution suivant la progression fulgurante des technologies de fabrication des composants électroniques et plus particulièrement l’arrivée sur le marché industriel des microsystèmes à signaux mixtes analogiques – numériques, ainsi que l’émergence des technologies MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems), il s’agit alors de capteurs intégrés.
Parmi les premiers microsystèmes développés et industrialisés est le micro-accéléromètre, ses domaines d’utilisation sont variés (airbags des véhicules, les systèmes de navigation, les appareils médicales, sismométrie, surveillance de machines, etc.).
Notre travail alors consiste à étudier et améliorer de différents types d’accéléromètres à base de MEMS par l’optimisation et la modélisation des paramètres qui s’intègrent dans leur conception on essayant d’améliorer un model de précision et de qualité.
Le premier chapitre recouvre les différents types de détection qui entre dans la fabrication des accéléromètres à base des MEMS tel que la détection piézoélectrique, à structure résonante, piezorésistive, thermique et optique.
Notre intérêt durant le second chapitre, est de définir les technologies et les méthodes de fabrication des microsystèmes (MEMS) dédiés à la fabrication des micro-accéléromètres.
Le troisième chapitre a été consacré pour une étude mathématique et physique d’un model d’accéléromètre capacitif en technologie MEMS par une modélisation des paramètres on utilisant de différentes approches pour améliorer le rendement du modèle.
Dans le dernier chapitre, une simulation du model est réalisée par un logiciel de MATLAB, des paramètres initial sont proposés pour bute d’avoir une amélioration de justesse afin d’obtenir un model parfait et prêt pour la mise en fabrication.
| Directeur de thèse : | MEKKAKIA MAAZA Nasr-Eddine |
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