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Auteur SAFOU Abdelkader
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Faire une suggestion Affiner la rechercheRéalisation d'un transducteur piézoélectrique IDF miniature à base d'une couche mince de ZnO dopé cuivre / SAFOU Abdelkader
Titre : Réalisation d'un transducteur piézoélectrique IDF miniature à base d'une couche mince de ZnO dopé cuivre Type de document : texte imprimé Auteurs : SAFOU Abdelkader, Auteur Année de publication : 2009 Importance : 92p Langues : Français (fre) Catégories : Physique:Option Technologie des Matériaux et physique des dispositifs Mots-clés : Transducteur piézoélectrique , doigts interdigités IDT , photolithographie , piézoélectricité ZnO, pulvérisation cathodique RF Résumé : Dans ce travail et au sein de laboratoire de microscopie electronique et sciences des matériaux LMESM , nous avons mis les étapes nécessaires pour aboutir à la technologie des transducteurs IDT piézoélectriques de la synthése des couches minces d’oxyde de zin dopé cuivre au moyen de la technique radiofréquence R.F et la réalisation des doigts interdigités miniatures IDT sur des substrats du verre , silicium et quartz avec une microlocalisation du ZnO Piézoélectrique sur les IDT
ces dispositifs sont réalisés au moyen de la technique radiofréquence RF et les étapes de photolithographie nous avons procédé à la réalisation des doigts interdigités IDI par la technique de microlithographie et le dépôt des couches du ZnO ,Cu sur les IDT
pour cela nous avons développé la technique d’insolation en mode projection par un sqystéme optique le but de cette technique est la miniaturisation des dispositifs IDT
la réduction minimale obtenue est de 1 :30 qui a permis d’obtenir des IDT fins de largeur et d’espacement 5 micrométres , cette technique dévelooppée au sein du laboratoire LMESM à permis d’améliorer le facteur de miniaturisation d’un ordre de 30 par rapport aux travaux déjà entretenus dans notre laboratoire
Directeur de thèse : HAMZAOUI Saad Réalisation d'un transducteur piézoélectrique IDF miniature à base d'une couche mince de ZnO dopé cuivre [texte imprimé] / SAFOU Abdelkader, Auteur . - 2009 . - 92p.
Langues : Français (fre)
Catégories : Physique:Option Technologie des Matériaux et physique des dispositifs Mots-clés : Transducteur piézoélectrique , doigts interdigités IDT , photolithographie , piézoélectricité ZnO, pulvérisation cathodique RF Résumé : Dans ce travail et au sein de laboratoire de microscopie electronique et sciences des matériaux LMESM , nous avons mis les étapes nécessaires pour aboutir à la technologie des transducteurs IDT piézoélectriques de la synthése des couches minces d’oxyde de zin dopé cuivre au moyen de la technique radiofréquence R.F et la réalisation des doigts interdigités miniatures IDT sur des substrats du verre , silicium et quartz avec une microlocalisation du ZnO Piézoélectrique sur les IDT
ces dispositifs sont réalisés au moyen de la technique radiofréquence RF et les étapes de photolithographie nous avons procédé à la réalisation des doigts interdigités IDI par la technique de microlithographie et le dépôt des couches du ZnO ,Cu sur les IDT
pour cela nous avons développé la technique d’insolation en mode projection par un sqystéme optique le but de cette technique est la miniaturisation des dispositifs IDT
la réduction minimale obtenue est de 1 :30 qui a permis d’obtenir des IDT fins de largeur et d’espacement 5 micrométres , cette technique dévelooppée au sein du laboratoire LMESM à permis d’améliorer le facteur de miniaturisation d’un ordre de 30 par rapport aux travaux déjà entretenus dans notre laboratoire
Directeur de thèse : HAMZAOUI Saad Exemplaires
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